大功率超声波声化学处理系统由超声波振动部件和超声波专用驱动电源和反应釜三大部分构成：超声波振动部件主要包括大功率超声波换能器、变幅杆、工具头（发射头），用于产生超声波振动，并将此振动能量向液体中发射。换能器将输入的电能转换成机械能，即超声波。其表现形式是换能器在纵向作来回伸缩运动，振幅一般在几个微米。这样的振幅功率密度不够，是不能直接使用的。变幅杆按设计需要放大振幅，隔离反应溶液和换能器，同时也起到固定整个超声波振动系统的作用。工具头与变幅杆相连，变幅杆将超声波能量振动传递给工具头，再由工具头将超声波能量发射到化学反应液体中。

声化学系统主要部件功能：

1.超音波振动源（驱动电源）：把50-60Hz的市电转化为高功率的高频率（15kHz—100kHz）电源，提供给换能器。

2.换能器（controller, transducer）：把高频率电能转化为机械振动能。

3.变幅杆：联接并固定换能器与工具头，将换能器之振幅放大后传送到工具头。

4.工具头（导入杆）：把机械能和压力传至工作物，同时也有振幅放大的功能。

5.连接螺栓：将以上各组件紧密地连接。